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北京量子信息科學(xué)研究院科研儀器設(shè)備電子束曝光機單一來源采購公示

2023/4/6 16:33:13

北京量子信息科學(xué)研究院科研儀器設(shè)備電子束曝光機單一來源采購公示

2023年04月06日 15:26 來源：中國政府采購網(wǎng) 【打印】【顯示公告概要】

一、項目信息

采購人：北京量子信息科學(xué)研究院

項目名稱：科研儀器設(shè)備電子束曝光機

擬采購的貨物或者服務(wù)的說明：

電子束曝光機1套

擬采購的貨物或服務(wù)的預(yù)算金額：1050.0000000 萬元（人民幣）

采用單一來源采購方式的原因及說明:

電子束曝光是微納米加工的核心技術(shù)。為了實現(xiàn)工藝水平從傳統(tǒng)的微米量級，進入到亞微米和納米尺度，構(gòu)造納米器件并從納米尺度研究新型納米器件和量子現(xiàn)象。此次擬采購的電子束曝光機須滿足以下參數(shù)要求：
加速電壓不低于50 kV；圖形發(fā)生器掃描頻率不低于50 MHz；最小線寬≤50 nm；500 μm寫場下，拼接精度≤ 50 nm，套刻精度≤ 40 nm；1000 μm寫場下，拼接精度≤ 100 nm，套刻精度≤ 80 nm。
根據(jù)全球調(diào)研，能滿足上述需求的廠家有德國的Raith以及日本的JEOL、Elionix、Crestec，但日本已禁止出口該類產(chǎn)品到中國，無法進行采購，故只有德國Raith能滿足需求且愿意供貨。
銳時科技（北京）有限公司是廠家Raith在中國的分公司，且是國內(nèi)唯一銷售渠道。因此申請單一來源采購。
綜上，特申請單一來源采購方式，通過銳時科技（北京）有限公司購買所需的1套電子束曝光機。

二、擬定供應(yīng)商信息

名稱：銳時科技（北京）有限公司

地址：北京市東城區(qū)北三環(huán)東路36號1號樓7層A709房間

三、公示期限

2023年04月06日至 2023年04月13日

四、其他補充事宜：

專家論證意見及專家姓名、工作單位、職稱等信息詳見附件。
由于系統(tǒng)原因，其他未盡事宜及公告顯示內(nèi)容與附件不同的，以附件為準(zhǔn)。
本公示在中國政府采購網(wǎng)發(fā)布。

五、聯(lián)系方式

1.采購人

聯(lián)系人：北京量子信息科學(xué)研究院

地址：北京市海淀區(qū)西北旺東路10號院西區(qū)3號樓

聯(lián)系方式：010-83057588 轉(zhuǎn) 8052