電子專用設(shè)備儀器“十二五”規(guī)劃
[2012/2/24]
目 錄
前 言 1
一、“十一五”產(chǎn)業(yè)發(fā)展回顧 1
(一)產(chǎn)業(yè)規(guī)模持續(xù)穩(wěn)定增長 1
(二)重點產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域取得較大成績 2
(三)電子儀器產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整初見成效 3
(四)產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新能力不斷提升 3
(五)產(chǎn)業(yè)鏈整合進(jìn)程日益加速 4
(六)產(chǎn)業(yè)扶持政策逐步完善 4
二、“十二五”面臨的形勢 5
(一)產(chǎn)業(yè)發(fā)展形勢分析 5
(二)技術(shù)發(fā)展趨勢分析 6
(三)面臨的環(huán)境條件 7
三、發(fā)展思路和發(fā)展目標(biāo) 7
(一)發(fā)展思路 7
(二)發(fā)展目標(biāo) 8
1、經(jīng)濟(jì)指標(biāo) 8
2、創(chuàng)新指標(biāo) 8
四、主要任務(wù)和發(fā)展重點 9
(一)主要任務(wù) 9
1、圍繞戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，提升配套能力 9
2、加強基礎(chǔ)能力建設(shè)，提升產(chǎn)業(yè)整體水平 9
3、以重大專項實施為契機，加強產(chǎn)業(yè)互動 9
(二)發(fā)展重點 10
1、集成電路生產(chǎn)設(shè)備 10
2、太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備 11
3、新型元器件生產(chǎn)設(shè)備 13
4、通信與網(wǎng)絡(luò)測試儀器 14
5、半導(dǎo)體和集成電路測試儀器 15
6、數(shù)字電視測試儀器 15
五、政策措施 15
(一)加強戰(zhàn)略引導(dǎo)，完善產(chǎn)業(yè)政策 15
(二)加大投入力度，支持自主創(chuàng)新 15
(三)提升產(chǎn)品可靠性，加強服務(wù)能力建設(shè) 16
(四)引導(dǎo)專項成果輻射，推動技術(shù)應(yīng)用擴展 16
(五)重視人才戰(zhàn)略，集聚高端人才 16
前 言
電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)是重大裝備制造業(yè)的重要分支，是知識、技術(shù)、資本高度密集型產(chǎn)業(yè)，處于電子信息產(chǎn)業(yè)鏈最高端，其基礎(chǔ)性強、關(guān)聯(lián)度高、技術(shù)難度大、進(jìn)入門檻高，決定著一個國家或地區(qū)電子信息產(chǎn)品制造業(yè)的整體水平，也是電子信息產(chǎn)業(yè)綜合實力的重要標(biāo)志。
電子儀器產(chǎn)業(yè)是電子信息產(chǎn)業(yè)重要的基礎(chǔ)性產(chǎn)業(yè)，具有高投入、多品種、小批量、更新?lián)Q代快的特點，在國民經(jīng)濟(jì)總產(chǎn)值中的占比不高，但對經(jīng)濟(jì)發(fā)展的“杠桿”和“倍增”作用卻十分巨大。
為推動電子專用設(shè)備儀器產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展，縮小與國際同類產(chǎn)品的差距，根據(jù)《工業(yè)轉(zhuǎn)型升級“十二五”規(guī)劃》、《信息產(chǎn)業(yè)“十二五”發(fā)展規(guī)劃》和《電子信息制造業(yè)“十二五”發(fā)展規(guī)劃》，制定本規(guī)劃。
本規(guī)劃涉及電子專用設(shè)備和電子儀器兩大行業(yè)，是“十二五”期間我國電子專用設(shè)備儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的指導(dǎo)性文件和加強行業(yè)管理、組織實施重大工程的依據(jù)。
一、“十一五”產(chǎn)業(yè)發(fā)展回顧
(一)產(chǎn)業(yè)規(guī)模持續(xù)穩(wěn)定增長
我國電子專用設(shè)備儀器產(chǎn)業(yè)在“十一五”期間保持了較高的增速，雖然期間受全球金融危機影響，2008年下半年至2009年上半年呈現(xiàn)出下滑態(tài)勢，但在國內(nèi)多項政策激勵下，隨著世界經(jīng)濟(jì)逐步回暖，電子專用設(shè)備儀器業(yè)企穩(wěn)回升，實現(xiàn)了生產(chǎn)、銷售和經(jīng)濟(jì)效益總體平穩(wěn)增長的態(tài)勢。
據(jù)統(tǒng)計，“十一五”期間我國電子專用設(shè)備銷售收入年均增長率為20%，從2005年的783億元增長到超過1987億元，電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會統(tǒng)計的行業(yè)骨干企業(yè)年均增長率為25%，從52.7億元增長到160.6億元。統(tǒng)計數(shù)據(jù)表明，“十一五”期間我國電子儀器規(guī)模以上企業(yè)年均增長19%，到“十一五”末實現(xiàn)銷售收入940億元。五年間，電子專用設(shè)備儀器產(chǎn)品中太陽能光伏設(shè)備以及元器件參數(shù)測量儀器、超低頻測量儀器等保持了較大幅度的增長。
(二)重點產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域取得較大成績
“十一五”期間，國家科技重大專項圍繞光刻機、刻蝕機、65納米制造工藝、先進(jìn)封裝設(shè)備等重點任務(wù)，集中資源重點投入，取得很大進(jìn)展。北方微電子及上海中微公司2種12英寸65納米刻蝕機產(chǎn)品樣機已進(jìn)入大生產(chǎn)線進(jìn)行考核驗證;多種12英寸關(guān)鍵設(shè)備陸續(xù)進(jìn)入大生產(chǎn)線考核驗證，標(biāo)志著我國集成電路設(shè)備產(chǎn)業(yè)已初步形成產(chǎn)業(yè)化發(fā)展態(tài)勢。
“十一五”期間新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，為電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)帶來了良好的發(fā)展契機。尤其是我國晶硅太陽能電池設(shè)備年均增長率達(dá)到58%，基本具備了從晶體硅到太陽能電池片的成套生產(chǎn)線設(shè)備供應(yīng)能力，為我國光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了有力保障。晶硅太陽能設(shè)備爆發(fā)式增長，為電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)“十一五”規(guī)劃目標(biāo)提供了有力支撐。
(三)電子儀器產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整初見成效
電子儀器產(chǎn)業(yè)根據(jù)市場應(yīng)用需求的變化，不斷調(diào)整結(jié)構(gòu)，產(chǎn)品種類日益豐富。針對多功能、多參數(shù)的復(fù)合測試需求，測試設(shè)備從單臺儀器向大型測試系統(tǒng)形式邁進(jìn);電子測量儀器向模塊化和合成儀器方向發(fā)展;野外工程應(yīng)用需求不斷促進(jìn)測試儀器向便攜式和手持式升級;新型的實時頻譜分析儀開始推向市場;3G、數(shù)字電視等民用領(lǐng)域?qū)I(yè)測試儀器新品不斷涌現(xiàn)。
(四)產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新能力不斷提升
“十一五”以來，電子專用設(shè)備儀器行業(yè)內(nèi)主要企業(yè)通過引進(jìn)國內(nèi)外的高科技人才，加強與高校、科研單位的合作，在關(guān)鍵設(shè)備和開發(fā)中規(guī)避已有的國外專利，開發(fā)出一批技術(shù)含量高、性能穩(wěn)定、具有自主知識產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品，初步建立起了以企業(yè)為主體的技術(shù)創(chuàng)新體系。
在國家“863”計劃、國家科技重大專項的支持下，一批具有自主知識產(chǎn)權(quán)的集成電路設(shè)備進(jìn)入了大生產(chǎn)線。我國的無鉛焊接設(shè)備達(dá)到了國際先進(jìn)水平，成為我國表面貼裝設(shè)備市場中最具競爭力的產(chǎn)品。電子儀器行業(yè)的本土企業(yè)逐步進(jìn)入自主研發(fā)階段，初步掌握核心和高端儀器技術(shù)，能夠為國家重大工程提供大部分配套電子儀器。在部分特種電子儀器產(chǎn)品方面打破了國外禁運和技術(shù)封鎖，為重點裝備的技術(shù)保障和研制建設(shè)提供了有力支撐。
(五)產(chǎn)業(yè)鏈整合進(jìn)程日益加速
在國家科技重大專項引導(dǎo)下，以龍頭企業(yè)為核心的產(chǎn)業(yè)鏈整合進(jìn)程持續(xù)加速。北方微電子、上海中微、七星華創(chuàng)等整機企業(yè)與北京科儀、沈陽科儀、沈陽新松等零部件企業(yè)圍繞刻蝕機、注入機、氧化爐等高端芯片制造裝備與關(guān)鍵部件進(jìn)行聯(lián)合攻關(guān);江蘇長電、南通富士通等國內(nèi)封裝龍頭企業(yè)聯(lián)合26家企業(yè)開展成套封裝設(shè)備與配套材料的系統(tǒng)應(yīng)用工程。按照上下游配套的“項目群”方式，系統(tǒng)部署實施重大專項，有力促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的建立、產(chǎn)業(yè)規(guī)模的增長和綜合配套能力的形成。
(六)產(chǎn)業(yè)扶持政策逐步完善
《國務(wù)院關(guān)于加快振興裝備制造業(yè)的若干意見》將集成電路關(guān)鍵設(shè)備、新型平板顯示器件生產(chǎn)設(shè)備、電子元器件生產(chǎn)設(shè)備、無鉛工藝的整機裝聯(lián)設(shè)備列入了國家重大技術(shù)裝備中，加大政策支持和引導(dǎo)力度，鼓勵本土重大技術(shù)裝備訂購和使用，為產(chǎn)業(yè)發(fā)展創(chuàng)造了有利的市場環(huán)境。“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項的實施，有力帶動了我國電子專用設(shè)備儀器技術(shù)提升。
“十一五”期間我國電子專用設(shè)備儀器行業(yè)取得較大成績，但仍存在突出問題：產(chǎn)業(yè)規(guī)模偏小，本土企業(yè)實力不強;自主創(chuàng)新能力有待提高，高端設(shè)備開發(fā)相對落后;部分產(chǎn)品性價比雖高，但可靠性較差，市場占有率低;設(shè)備開發(fā)與產(chǎn)品制造工藝脫離，影響了技術(shù)成果產(chǎn)業(yè)化的進(jìn)程;高水平、復(fù)合型人才缺乏。
二、“十二五”面臨的形勢
“十二五”期間，隨著政策環(huán)境的不斷完善、戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，國際國內(nèi)市場迅速增長、新興增長點不斷涌現(xiàn)、應(yīng)用領(lǐng)域進(jìn)一步拓寬，為我國電子專用設(shè)備儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供了廣闊的空間和堅實的政策支持。但全球經(jīng)濟(jì)形勢存在不確定性、國產(chǎn)設(shè)備儀器的推廣應(yīng)用難度加大，也使產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨較大挑戰(zhàn)。
(一)產(chǎn)業(yè)發(fā)展形勢分析
2010年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備銷售總額達(dá)到395.4億美元，恢復(fù)到歷史最高水平。各個地區(qū)的設(shè)備支出都呈現(xiàn)了兩位數(shù)甚至三位數(shù)百分比的增長，增長最快的是中國大陸和韓國。2010年中國內(nèi)地半導(dǎo)體設(shè)備市場為22.4億美元，預(yù)計2011年為26.4億美元。按此增長率推算，到2015年，我國半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模將達(dá)到300億元人民幣。
2010年，全球光伏生產(chǎn)設(shè)備銷售額比上年增長40%，達(dá)到104億美元，預(yù)計2011年將達(dá)到124億美元，同比增長24%。從區(qū)域市場來看，2010年中國大陸地區(qū)占全球市場51%的份額，預(yù)計未來5年還將繼續(xù)保持這一較高比例。據(jù)此，可以判斷到2015年我國光伏設(shè)備將繼續(xù)保有巨大市場空間。
新能源汽車用鋰離子動力電池、高性能驅(qū)動永磁式同步電機、金屬化超薄膜電力電容器等新型電子元器件生產(chǎn)設(shè)備將成為我國電子專用設(shè)備市場新的增長點。
多學(xué)科交匯為電子儀器開辟了新的發(fā)展空間，物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)發(fā)展和三網(wǎng)融合對電子儀器提出新的測試需求，預(yù)計上述領(lǐng)域的電子儀器以及環(huán)境保護(hù)測試儀器和醫(yī)療電子儀器會面臨大發(fā)展。
(二)技術(shù)發(fā)展趨勢分析
集成電路技術(shù)發(fā)展將繼續(xù)遵循“摩爾定律”，制造工藝水平的提升對相應(yīng)制造設(shè)備提出了新的挑戰(zhàn)。不僅是特征尺寸的縮小和套刻精度的提高等技術(shù)指標(biāo)的改進(jìn)，而且需要更高的生產(chǎn)效率和更低的用戶擁有成本等經(jīng)濟(jì)指標(biāo)的提升。不僅僅局限于集成電路的制造設(shè)備，太陽能電池制造設(shè)備、平板顯示設(shè)備、整機裝聯(lián)設(shè)備等設(shè)備功能和性能的提升也將符合這一發(fā)展趨勢。
電子儀器向?qū)掝l帶、大實時帶寬、大功率、高精度、高密度、高速方向發(fā)展;將廣泛采用新型元器件，與信息技術(shù)和計算機技術(shù)融為一體，向智能化、系統(tǒng)化、模塊化、網(wǎng)絡(luò)化、開放式、可重構(gòu)、微型化、抗惡劣環(huán)境、測量功能集成集約化方向邁進(jìn)。
(三)面臨的環(huán)境條件
“十二五”期間，隨著我國繼續(xù)加快發(fā)展戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)，加大對“極大規(guī)模集成電路裝備制造技術(shù)及成套工藝”、“新一代寬帶無線移動通信網(wǎng)”等重大科技專項的支持，新能源、新材料等新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展以及量大面廣的電子元器件的需求，將為電子專用設(shè)備儀器企業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展創(chuàng)造良好的發(fā)展機遇。
同時，產(chǎn)業(yè)也面臨著制造企業(yè)對于采購本地設(shè)備儀器的積極性不高，在采購本土設(shè)備時需要面對工藝與設(shè)備的融合，新工藝開發(fā)缺乏技術(shù)支持等一系列問題。
為本地開發(fā)的專用設(shè)備儀器提供良好的市場銷售環(huán)境和政策支持，進(jìn)一步降低國產(chǎn)設(shè)備儀器的使用成本，提升本土產(chǎn)品的配套率，提升本土產(chǎn)品的競爭優(yōu)勢，提振用戶對國產(chǎn)設(shè)備儀器信心，是“十二五”期間需重點關(guān)注和解決的問題。
三、發(fā)展思路和發(fā)展目標(biāo)
(一)發(fā)展思路
深入貫徹落實科學(xué)發(fā)展觀，充分發(fā)揮重大科技專項、戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的引領(lǐng)作用，推動形成以企業(yè)為主體、產(chǎn)學(xué)研用結(jié)合的技術(shù)創(chuàng)新體系;以市場亟需的、帶動性較顯著的電子專用設(shè)備、電子測量儀器為重點，集中力量重點突破，開發(fā)滿足國家重大戰(zhàn)略需求、具有市場競爭力的關(guān)鍵產(chǎn)品，批量進(jìn)入生產(chǎn)線，提升市場自給率;以承擔(dān)重大專項為契機，形成一批自主知識產(chǎn)權(quán)核心技術(shù)，扶植起一批電子專用設(shè)備儀器重點企業(yè)。
(二)發(fā)展目標(biāo)
1、經(jīng)濟(jì)指標(biāo)
“十二五”時期，我國電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)將實現(xiàn)17%的年均增長速度，其中骨干企業(yè)年均增長20%，到2015年實現(xiàn)銷售收入400億元;電子儀器產(chǎn)業(yè)年均增長速度達(dá)15%，到2015年實現(xiàn)銷售收入達(dá)到1800億元。
2、創(chuàng)新指標(biāo)
12英寸65納米集成電路制造裝備實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，研發(fā)成功45納米-32納米制造裝備整機產(chǎn)品并進(jìn)入生產(chǎn)線應(yīng)用。在若干技術(shù)領(lǐng)域形成具有特色的創(chuàng)新技術(shù)和創(chuàng)新產(chǎn)品，大幅提升創(chuàng)新實力和差異化競爭能力。研發(fā)出8-10種前道核心裝備、12-15種先進(jìn)封裝關(guān)鍵設(shè)備并形成批量生產(chǎn)能力。
縮小我國集成電路設(shè)備、工藝技術(shù)水平與當(dāng)時國際先進(jìn)水平的差距，除光刻機外基本縮小到1代甚至基本同步;晶硅太陽能電池設(shè)備達(dá)到國際先進(jìn)水平;表面貼裝設(shè)備除自動貼片機外達(dá)到國際先進(jìn)水平;集成電路后封裝設(shè)備、液晶顯示器件后工序設(shè)備、發(fā)光二極管(LED)設(shè)備(除金屬有機化學(xué)氣相沉積設(shè)備外)、片式元件設(shè)備、凈化設(shè)備、環(huán)境試驗設(shè)備接近國際先進(jìn)水平。
電子儀器總體技術(shù)水平達(dá)到2005年前后國際先進(jìn)水平，在新一代移動通信、數(shù)字電視、綠色環(huán)保等應(yīng)用領(lǐng)域的電子儀器基本達(dá)到與國際先進(jìn)水平同步。
四、主要任務(wù)和發(fā)展重點
(一)主要任務(wù)
1、圍繞戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，提升配套能力
加強為戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)配套的電子專用設(shè)備儀器的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，圍繞集成電路、太陽能光伏、中小尺寸平板顯示、下一代通信等重點領(lǐng)域所需電子專用設(shè)備儀器，大力推進(jìn)關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，加快產(chǎn)品推廣應(yīng)用進(jìn)程。
2、加強基礎(chǔ)能力建設(shè)，提升產(chǎn)業(yè)整體水平
針對關(guān)鍵設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)化水平低、可靠性差等問題，加強基礎(chǔ)工藝研究，提升重點設(shè)備和儀器質(zhì)量水平，積極發(fā)展電子專用設(shè)備制造的關(guān)聯(lián)產(chǎn)業(yè)和配套產(chǎn)業(yè)，加大技術(shù)改造投入，提高基礎(chǔ)零部件和配套產(chǎn)品的技術(shù)水平，不斷滿足電子信息制造業(yè)發(fā)展的需要。
3、以重大專項實施為契機，加強產(chǎn)業(yè)互動
引導(dǎo)承擔(dān)重大專項的企業(yè)在攻克技術(shù)難關(guān)的同時延展技術(shù)應(yīng)用，推動集成電路設(shè)備相關(guān)技術(shù)在半導(dǎo)體、顯示、光伏、元器件等領(lǐng)域的應(yīng)用，推動通信網(wǎng)絡(luò)測試設(shè)備在通用測試儀器中的應(yīng)用。針對新興市場需求，加強產(chǎn)業(yè)鏈上下游聯(lián)動，共同探索新工藝，聯(lián)合研發(fā)新型設(shè)備儀器。
(二)發(fā)展重點
1、集成電路生產(chǎn)設(shè)備
(1)8英寸0.13微米集成電路成套生產(chǎn)線設(shè)備產(chǎn)業(yè)化
在“十一五”攻關(guān)的基礎(chǔ)上，以設(shè)備生產(chǎn)能力的提升和產(chǎn)業(yè)化為重點。解決以光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備、離子注入設(shè)備、退火設(shè)備、單晶生長設(shè)備、薄膜生長設(shè)備、化學(xué)機械拋光設(shè)備和封裝測試設(shè)備為代表的8英寸0.13微米工藝的集成電路成套設(shè)備的自主研發(fā)，突破核心關(guān)鍵技術(shù)，在國內(nèi)建立成套生產(chǎn)線，提高半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的配套性和整體水平。
(2)12英寸65納米-45納米集成電路關(guān)鍵設(shè)備產(chǎn)業(yè)化
光刻機：基于國產(chǎn)核心部件完成90納米光刻機的產(chǎn)品定型，形成小批量生產(chǎn)能力，實現(xiàn)產(chǎn)品銷售。
刻蝕機：使國產(chǎn)65納米-45納米刻蝕機進(jìn)入主流生產(chǎn)線，實現(xiàn)刻蝕機的產(chǎn)業(yè)化;完成45納米以下柵刻蝕和介質(zhì)刻蝕產(chǎn)品研制，逐步完成關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，實現(xiàn)設(shè)備生產(chǎn)線驗證及商業(yè)設(shè)備定型設(shè)計。通過納米刻蝕機研制和工藝開發(fā)掌握高密度等離子刻蝕機制造的核心技術(shù)。
封測設(shè)備：開展先進(jìn)封裝圓片減薄設(shè)備、三維系統(tǒng)封裝通孔設(shè)備、高密度倒裝鍵合設(shè)備、新型晶片級封裝用設(shè)備等的研發(fā)。
其它設(shè)備：完成45納米薄膜設(shè)備、摻雜設(shè)備、互聯(lián)設(shè)備、平坦化設(shè)備、清洗設(shè)備、工藝檢測設(shè)備等整機產(chǎn)品的研發(fā)，在工程樣機設(shè)計及工藝開發(fā)的基礎(chǔ)上，結(jié)合可靠性、穩(wěn)定性等產(chǎn)業(yè)化指標(biāo)要求，改進(jìn)設(shè)計，制造中試樣機，通過大量工藝驗證與優(yōu)化試驗，確定商業(yè)機設(shè)計，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化銷售。
2、太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備
(1)太陽能級多晶硅及單晶硅生長、切割、清洗設(shè)備產(chǎn)業(yè)化
多晶硅生長設(shè)備：突破熱場分控技術(shù)、定向凝固技術(shù)，實現(xiàn)投料量噸級及以上產(chǎn)品硅鑄錠爐的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，并實現(xiàn)成品率達(dá)到75%以上。
單晶硅生長設(shè)備：突破單晶生長全自動控制技術(shù)，實現(xiàn)8英寸(156 毫米×156 毫米硅片)以上尺寸全自動單晶爐產(chǎn)業(yè)化。
切割設(shè)備：突破張力控制軟件技術(shù)、水冷卻氣密封技術(shù)、砂漿溫度閉環(huán)控制技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，保證能滿足太陽能硅片大生產(chǎn)切割需求，切割硅片尺寸8英寸，切割精度優(yōu)于10微米、厚度在180微米以下的太陽能硅片多線切割機產(chǎn)業(yè)化。
清洗設(shè)備：突破槽體溫度控制技術(shù)、溶液循環(huán)技術(shù)、大行程直線傳輸技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，提升產(chǎn)品質(zhì)量的一致性，實現(xiàn)碎片率小于0.3‰的太陽能晶硅清洗制絨設(shè)備產(chǎn)業(yè)化，促進(jìn)晶硅太陽能電池片轉(zhuǎn)化效率提升。
(2)全自動晶硅太陽能電池片生產(chǎn)線設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化
重點發(fā)展擴散爐、等離子增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PECVD)等關(guān)鍵設(shè)備，突破單機自動化及生產(chǎn)線設(shè)備之間物流傳輸自動化技術(shù)，實現(xiàn)整線自動化集成。
重點突破自動圖像對準(zhǔn)技術(shù)、柔性傳輸技術(shù)、高精度印刷技術(shù)、高速高精度對準(zhǔn)技術(shù)、測試分選技術(shù)、智能化控制及系統(tǒng)集成技術(shù)，進(jìn)一步提高電池片電極印刷、烘干、測試分選速度，實現(xiàn)產(chǎn)能達(dá)到1440片/小時以上、碎片率低于0.5%的全自動太陽能印刷線設(shè)備產(chǎn)業(yè)化。
(3)薄膜太陽能生產(chǎn)設(shè)備
硅基類薄膜太陽能電池設(shè)備：重點提高大面積沉積的均勻性，進(jìn)一步提升設(shè)備運行的穩(wěn)定性，適度提升自動化程度，提高生產(chǎn)效率。
碲化鎘(CdTe)薄膜太陽能電池設(shè)備：突破真空鍍膜設(shè)備技術(shù)難點，研發(fā)新型升華源的結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步提高溫度均勻性，開發(fā)在高溫、真空環(huán)境下的傳動系統(tǒng)。
銅銦鎵硒(CIGS)薄膜太陽能電池設(shè)備：突破真空鍍膜設(shè)備、材料濺射、硒化技術(shù)等技術(shù)難點，實現(xiàn)元素配比的精確控制，保證大面積沉積的均勻性，提高生產(chǎn)效率，降低制造成本。實現(xiàn)0.7平方米以上、電池轉(zhuǎn)化效率達(dá)14%以上的CIGS整線設(shè)備集成。
3、新型元器件生產(chǎn)設(shè)備
(1)中小尺寸有機發(fā)光顯示(OLED)生產(chǎn)設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化
解決無源有機發(fā)光顯示(PM-OLED)用有機蒸鍍和封裝等關(guān)鍵設(shè)備大面積化和低成本化等問題，重點發(fā)展蒸發(fā)源、掩模對位、玻璃和掩模板固定裝置等設(shè)備，進(jìn)一步提高生產(chǎn)效率。
開展中小尺寸有源有機發(fā)光顯示(AM-OLED)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和制造設(shè)備研發(fā)，突破濺鍍臺、PECVD系統(tǒng)、熱蒸發(fā)系統(tǒng)等AM-OLED用的薄膜晶體管(TFT)薄膜沉積裝備;涂膠機、曝光機、干濕法刻蝕機等AM-OLED用的TFT圖形制作裝備;退火爐、退火氣體管道、激光退火設(shè)備等AM-OLED用TFT退火裝備;TFT電學(xué)測試設(shè)備、OLED光學(xué)測試設(shè)備等AM-OLED用檢測裝備;AM-OLED用缺陷檢測修補裝備，如激光修補機等。
(2)高儲能鋰離子電池生產(chǎn)設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化
突破電池漿料精密攪拌技術(shù)、電極極片精密涂敷技術(shù)、極片精密軋膜技術(shù)及快速極片分切技術(shù)，實現(xiàn)400升(裝量)漿料攪拌設(shè)備、650毫米(幅寬)擠出式涂布設(shè)備、Φ800(軋輥直徑800毫米)強力軋膜設(shè)備、極片分切設(shè)備(分切速度30-35米/分鐘)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化，實現(xiàn)整線設(shè)備集成。
(3)其他元器件生產(chǎn)設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化
重點發(fā)展高性能永磁元件生產(chǎn)設(shè)備、高亮度LED生產(chǎn)設(shè)備、金屬化超薄膜電力電容器生產(chǎn)設(shè)備、超小型片式元件生產(chǎn)設(shè)備、高密度印制電路板生產(chǎn)設(shè)備、高精密自動印刷機高速、多功能自動貼片機無鉛再流焊機、高精度光學(xué)檢測設(shè)備。
4、通信與網(wǎng)絡(luò)測試儀器
滿足時分雙工長期演進(jìn)技術(shù)(TD-LTE)網(wǎng)絡(luò)測試的多模終端樣機的研發(fā)，開發(fā)TD-LTE路測分析儀并達(dá)到商用化要求，配合TD-LTE技術(shù)網(wǎng)絡(luò)試驗和規(guī)模商用。
針對TD-LTE基站和終端特點及相關(guān)新技術(shù)和實際測試需求，開發(fā)模塊化的TD-LTE基站和終端射頻測試系統(tǒng)，推動基站和終端性能進(jìn)一步提高。
針對長期演進(jìn)技術(shù)(LTE)網(wǎng)絡(luò)接口進(jìn)行協(xié)議一致性測試的需求，研究更方便、更簡潔的測試工具對LTE的核心網(wǎng)絡(luò)設(shè)備和無線網(wǎng)絡(luò)設(shè)備進(jìn)行測試，推動設(shè)備接口實現(xiàn)一致性。
針對TD-LTE終端一致性測試開發(fā)擴展測試集儀器;針對TD-LTE-Advanced終端一致性測試開發(fā)終端協(xié)議仿真測試儀。
其他通信方式以及網(wǎng)絡(luò)測試所需的新一代通信測試儀器、計算機網(wǎng)絡(luò)測試儀器、射頻識別綜合測試儀器、各類讀卡器、近距離無線通信綜合測試儀器。
5、半導(dǎo)體和集成電路測試儀器
滿足對多種功能半導(dǎo)體和集成電路進(jìn)行測試需求的射頻與高速數(shù)；旌闲盘柤呻娐窚y試系統(tǒng);存儲器等專項測試系統(tǒng);半導(dǎo)體和集成電路在線測試系統(tǒng)、測試開發(fā)系統(tǒng)。
6、數(shù)字電視測試儀器
滿足數(shù)字電視和數(shù)字音視頻測試需求的數(shù)字電視信號源、數(shù)字音視頻測試儀、碼流監(jiān)測分析儀、圖像質(zhì)量分析儀、數(shù)字電視上網(wǎng)融合分析儀、網(wǎng)絡(luò)質(zhì)量和安全監(jiān)測儀、數(shù)字電視地面信號覆蓋監(jiān)測系統(tǒng)。
五、政策措施
(一)加強戰(zhàn)略引導(dǎo)，完善產(chǎn)業(yè)政策
充分利用優(yōu)惠政策，降低企業(yè)在技術(shù)進(jìn)步中的風(fēng)險，合理地運用優(yōu)惠政策促進(jìn)科研成果產(chǎn)業(yè)化。制定并完善《重大技術(shù)裝備和產(chǎn)品進(jìn)口關(guān)鍵零部件、原材料商品清單》，進(jìn)一步加強對電子專用設(shè)備關(guān)鍵零部件稅收優(yōu)惠政策的支持力度。
加快出臺《關(guān)于印發(fā)<進(jìn)一步鼓勵軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展若干政策>的通知》(國發(fā)[2011]4號)的實施細(xì)則，對符合條件的集成電路專用儀器以及集成電路專用設(shè)備相關(guān)企業(yè)給予企業(yè)所得稅優(yōu)惠，支持行業(yè)發(fā)展。
(二)加大投入力度，支持技術(shù)創(chuàng)新
充分發(fā)揮國家科技重大專項、電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金等引導(dǎo)作用，以多種形式支持電子專用設(shè)備儀器行業(yè)技術(shù)創(chuàng)新，重點支持戰(zhàn)略意義大、技術(shù)難度高、市場前景廣、帶動作用強、發(fā)展基礎(chǔ)好的關(guān)鍵電子專用設(shè)備儀器發(fā)展。
推動落實《首臺(套)重大技術(shù)裝備試驗示范項目管理辦法》，鼓勵支持集成電路關(guān)鍵設(shè)備、新型平板顯示器生產(chǎn)設(shè)備、電子元器件生產(chǎn)設(shè)備、無鉛工藝的整機裝聯(lián)設(shè)備自主創(chuàng)新，為首臺(套)重大電子專用設(shè)備應(yīng)用創(chuàng)造良好條件。
(三)提升產(chǎn)品可靠性，加強服務(wù)能力建設(shè)
抓好零部件配套和維修服務(wù)工作，推行平均失效間隔(MTBF)、平均恢復(fù)時間(MTTR)等可靠性指標(biāo)，采用可靠性設(shè)計、元器件篩選等行之有效的辦法，提高零部件產(chǎn)品可靠性，拓展維修、備件供應(yīng)等服務(wù)范圍，提高專用設(shè)備儀器的服務(wù)水平。
(四)引導(dǎo)專項成果輻射，推動技術(shù)應(yīng)用擴展
在支持企業(yè)承擔(dān)重大專項的企業(yè)攻克技術(shù)難關(guān)、強化核心競爭力的同時，積極引導(dǎo)將掌握的技術(shù)向相關(guān)領(lǐng)域進(jìn)行應(yīng)用擴展，重點推動半導(dǎo)體專用設(shè)備技術(shù)和產(chǎn)品在太陽能電池、LED、平板顯示等領(lǐng)域的應(yīng)用。
(五)重視人才戰(zhàn)略，集聚高端人才
推動在高等院校和科研院所加強電子專用設(shè)備儀器相關(guān)學(xué)科建設(shè)與專業(yè)技術(shù)人才的培養(yǎng)，建設(shè)高校、企業(yè)聯(lián)動的人才培養(yǎng)機制。以國家科技重大專項為平臺，加快人才引進(jìn)，進(jìn)一步提升高端復(fù)合型人才的積累。
前 言 1
一、“十一五”產(chǎn)業(yè)發(fā)展回顧 1
(一)產(chǎn)業(yè)規(guī)模持續(xù)穩(wěn)定增長 1
(二)重點產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域取得較大成績 2
(三)電子儀器產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整初見成效 3
(四)產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新能力不斷提升 3
(五)產(chǎn)業(yè)鏈整合進(jìn)程日益加速 4
(六)產(chǎn)業(yè)扶持政策逐步完善 4
二、“十二五”面臨的形勢 5
(一)產(chǎn)業(yè)發(fā)展形勢分析 5
(二)技術(shù)發(fā)展趨勢分析 6
(三)面臨的環(huán)境條件 7
三、發(fā)展思路和發(fā)展目標(biāo) 7
(一)發(fā)展思路 7
(二)發(fā)展目標(biāo) 8
1、經(jīng)濟(jì)指標(biāo) 8
2、創(chuàng)新指標(biāo) 8
四、主要任務(wù)和發(fā)展重點 9
(一)主要任務(wù) 9
1、圍繞戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，提升配套能力 9
2、加強基礎(chǔ)能力建設(shè)，提升產(chǎn)業(yè)整體水平 9
3、以重大專項實施為契機，加強產(chǎn)業(yè)互動 9
(二)發(fā)展重點 10
1、集成電路生產(chǎn)設(shè)備 10
2、太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備 11
3、新型元器件生產(chǎn)設(shè)備 13
4、通信與網(wǎng)絡(luò)測試儀器 14
5、半導(dǎo)體和集成電路測試儀器 15
6、數(shù)字電視測試儀器 15
五、政策措施 15
(一)加強戰(zhàn)略引導(dǎo)，完善產(chǎn)業(yè)政策 15
(二)加大投入力度，支持自主創(chuàng)新 15
(三)提升產(chǎn)品可靠性，加強服務(wù)能力建設(shè) 16
(四)引導(dǎo)專項成果輻射，推動技術(shù)應(yīng)用擴展 16
(五)重視人才戰(zhàn)略，集聚高端人才 16
前 言
電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)是重大裝備制造業(yè)的重要分支，是知識、技術(shù)、資本高度密集型產(chǎn)業(yè)，處于電子信息產(chǎn)業(yè)鏈最高端，其基礎(chǔ)性強、關(guān)聯(lián)度高、技術(shù)難度大、進(jìn)入門檻高，決定著一個國家或地區(qū)電子信息產(chǎn)品制造業(yè)的整體水平，也是電子信息產(chǎn)業(yè)綜合實力的重要標(biāo)志。
電子儀器產(chǎn)業(yè)是電子信息產(chǎn)業(yè)重要的基礎(chǔ)性產(chǎn)業(yè)，具有高投入、多品種、小批量、更新?lián)Q代快的特點，在國民經(jīng)濟(jì)總產(chǎn)值中的占比不高，但對經(jīng)濟(jì)發(fā)展的“杠桿”和“倍增”作用卻十分巨大。
為推動電子專用設(shè)備儀器產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展，縮小與國際同類產(chǎn)品的差距，根據(jù)《工業(yè)轉(zhuǎn)型升級“十二五”規(guī)劃》、《信息產(chǎn)業(yè)“十二五”發(fā)展規(guī)劃》和《電子信息制造業(yè)“十二五”發(fā)展規(guī)劃》，制定本規(guī)劃。
本規(guī)劃涉及電子專用設(shè)備和電子儀器兩大行業(yè)，是“十二五”期間我國電子專用設(shè)備儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的指導(dǎo)性文件和加強行業(yè)管理、組織實施重大工程的依據(jù)。
一、“十一五”產(chǎn)業(yè)發(fā)展回顧
(一)產(chǎn)業(yè)規(guī)模持續(xù)穩(wěn)定增長
我國電子專用設(shè)備儀器產(chǎn)業(yè)在“十一五”期間保持了較高的增速，雖然期間受全球金融危機影響，2008年下半年至2009年上半年呈現(xiàn)出下滑態(tài)勢，但在國內(nèi)多項政策激勵下，隨著世界經(jīng)濟(jì)逐步回暖，電子專用設(shè)備儀器業(yè)企穩(wěn)回升，實現(xiàn)了生產(chǎn)、銷售和經(jīng)濟(jì)效益總體平穩(wěn)增長的態(tài)勢。
據(jù)統(tǒng)計，“十一五”期間我國電子專用設(shè)備銷售收入年均增長率為20%，從2005年的783億元增長到超過1987億元，電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會統(tǒng)計的行業(yè)骨干企業(yè)年均增長率為25%，從52.7億元增長到160.6億元。統(tǒng)計數(shù)據(jù)表明，“十一五”期間我國電子儀器規(guī)模以上企業(yè)年均增長19%，到“十一五”末實現(xiàn)銷售收入940億元。五年間，電子專用設(shè)備儀器產(chǎn)品中太陽能光伏設(shè)備以及元器件參數(shù)測量儀器、超低頻測量儀器等保持了較大幅度的增長。
(二)重點產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域取得較大成績
“十一五”期間，國家科技重大專項圍繞光刻機、刻蝕機、65納米制造工藝、先進(jìn)封裝設(shè)備等重點任務(wù)，集中資源重點投入，取得很大進(jìn)展。北方微電子及上海中微公司2種12英寸65納米刻蝕機產(chǎn)品樣機已進(jìn)入大生產(chǎn)線進(jìn)行考核驗證;多種12英寸關(guān)鍵設(shè)備陸續(xù)進(jìn)入大生產(chǎn)線考核驗證，標(biāo)志著我國集成電路設(shè)備產(chǎn)業(yè)已初步形成產(chǎn)業(yè)化發(fā)展態(tài)勢。
“十一五”期間新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，為電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)帶來了良好的發(fā)展契機。尤其是我國晶硅太陽能電池設(shè)備年均增長率達(dá)到58%，基本具備了從晶體硅到太陽能電池片的成套生產(chǎn)線設(shè)備供應(yīng)能力，為我國光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了有力保障。晶硅太陽能設(shè)備爆發(fā)式增長，為電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)“十一五”規(guī)劃目標(biāo)提供了有力支撐。
(三)電子儀器產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整初見成效
電子儀器產(chǎn)業(yè)根據(jù)市場應(yīng)用需求的變化，不斷調(diào)整結(jié)構(gòu)，產(chǎn)品種類日益豐富。針對多功能、多參數(shù)的復(fù)合測試需求，測試設(shè)備從單臺儀器向大型測試系統(tǒng)形式邁進(jìn);電子測量儀器向模塊化和合成儀器方向發(fā)展;野外工程應(yīng)用需求不斷促進(jìn)測試儀器向便攜式和手持式升級;新型的實時頻譜分析儀開始推向市場;3G、數(shù)字電視等民用領(lǐng)域?qū)I(yè)測試儀器新品不斷涌現(xiàn)。
(四)產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新能力不斷提升
“十一五”以來，電子專用設(shè)備儀器行業(yè)內(nèi)主要企業(yè)通過引進(jìn)國內(nèi)外的高科技人才，加強與高校、科研單位的合作，在關(guān)鍵設(shè)備和開發(fā)中規(guī)避已有的國外專利，開發(fā)出一批技術(shù)含量高、性能穩(wěn)定、具有自主知識產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品，初步建立起了以企業(yè)為主體的技術(shù)創(chuàng)新體系。
在國家“863”計劃、國家科技重大專項的支持下，一批具有自主知識產(chǎn)權(quán)的集成電路設(shè)備進(jìn)入了大生產(chǎn)線。我國的無鉛焊接設(shè)備達(dá)到了國際先進(jìn)水平，成為我國表面貼裝設(shè)備市場中最具競爭力的產(chǎn)品。電子儀器行業(yè)的本土企業(yè)逐步進(jìn)入自主研發(fā)階段，初步掌握核心和高端儀器技術(shù)，能夠為國家重大工程提供大部分配套電子儀器。在部分特種電子儀器產(chǎn)品方面打破了國外禁運和技術(shù)封鎖，為重點裝備的技術(shù)保障和研制建設(shè)提供了有力支撐。
(五)產(chǎn)業(yè)鏈整合進(jìn)程日益加速
在國家科技重大專項引導(dǎo)下，以龍頭企業(yè)為核心的產(chǎn)業(yè)鏈整合進(jìn)程持續(xù)加速。北方微電子、上海中微、七星華創(chuàng)等整機企業(yè)與北京科儀、沈陽科儀、沈陽新松等零部件企業(yè)圍繞刻蝕機、注入機、氧化爐等高端芯片制造裝備與關(guān)鍵部件進(jìn)行聯(lián)合攻關(guān);江蘇長電、南通富士通等國內(nèi)封裝龍頭企業(yè)聯(lián)合26家企業(yè)開展成套封裝設(shè)備與配套材料的系統(tǒng)應(yīng)用工程。按照上下游配套的“項目群”方式，系統(tǒng)部署實施重大專項，有力促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的建立、產(chǎn)業(yè)規(guī)模的增長和綜合配套能力的形成。
(六)產(chǎn)業(yè)扶持政策逐步完善
《國務(wù)院關(guān)于加快振興裝備制造業(yè)的若干意見》將集成電路關(guān)鍵設(shè)備、新型平板顯示器件生產(chǎn)設(shè)備、電子元器件生產(chǎn)設(shè)備、無鉛工藝的整機裝聯(lián)設(shè)備列入了國家重大技術(shù)裝備中，加大政策支持和引導(dǎo)力度，鼓勵本土重大技術(shù)裝備訂購和使用，為產(chǎn)業(yè)發(fā)展創(chuàng)造了有利的市場環(huán)境。“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項的實施，有力帶動了我國電子專用設(shè)備儀器技術(shù)提升。
“十一五”期間我國電子專用設(shè)備儀器行業(yè)取得較大成績，但仍存在突出問題：產(chǎn)業(yè)規(guī)模偏小，本土企業(yè)實力不強;自主創(chuàng)新能力有待提高，高端設(shè)備開發(fā)相對落后;部分產(chǎn)品性價比雖高，但可靠性較差，市場占有率低;設(shè)備開發(fā)與產(chǎn)品制造工藝脫離，影響了技術(shù)成果產(chǎn)業(yè)化的進(jìn)程;高水平、復(fù)合型人才缺乏。
二、“十二五”面臨的形勢
“十二五”期間，隨著政策環(huán)境的不斷完善、戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，國際國內(nèi)市場迅速增長、新興增長點不斷涌現(xiàn)、應(yīng)用領(lǐng)域進(jìn)一步拓寬，為我國電子專用設(shè)備儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供了廣闊的空間和堅實的政策支持。但全球經(jīng)濟(jì)形勢存在不確定性、國產(chǎn)設(shè)備儀器的推廣應(yīng)用難度加大，也使產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨較大挑戰(zhàn)。
(一)產(chǎn)業(yè)發(fā)展形勢分析
2010年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備銷售總額達(dá)到395.4億美元，恢復(fù)到歷史最高水平。各個地區(qū)的設(shè)備支出都呈現(xiàn)了兩位數(shù)甚至三位數(shù)百分比的增長，增長最快的是中國大陸和韓國。2010年中國內(nèi)地半導(dǎo)體設(shè)備市場為22.4億美元，預(yù)計2011年為26.4億美元。按此增長率推算，到2015年，我國半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模將達(dá)到300億元人民幣。
2010年，全球光伏生產(chǎn)設(shè)備銷售額比上年增長40%，達(dá)到104億美元，預(yù)計2011年將達(dá)到124億美元，同比增長24%。從區(qū)域市場來看，2010年中國大陸地區(qū)占全球市場51%的份額，預(yù)計未來5年還將繼續(xù)保持這一較高比例。據(jù)此，可以判斷到2015年我國光伏設(shè)備將繼續(xù)保有巨大市場空間。
新能源汽車用鋰離子動力電池、高性能驅(qū)動永磁式同步電機、金屬化超薄膜電力電容器等新型電子元器件生產(chǎn)設(shè)備將成為我國電子專用設(shè)備市場新的增長點。
多學(xué)科交匯為電子儀器開辟了新的發(fā)展空間，物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)發(fā)展和三網(wǎng)融合對電子儀器提出新的測試需求，預(yù)計上述領(lǐng)域的電子儀器以及環(huán)境保護(hù)測試儀器和醫(yī)療電子儀器會面臨大發(fā)展。
(二)技術(shù)發(fā)展趨勢分析
集成電路技術(shù)發(fā)展將繼續(xù)遵循“摩爾定律”，制造工藝水平的提升對相應(yīng)制造設(shè)備提出了新的挑戰(zhàn)。不僅是特征尺寸的縮小和套刻精度的提高等技術(shù)指標(biāo)的改進(jìn)，而且需要更高的生產(chǎn)效率和更低的用戶擁有成本等經(jīng)濟(jì)指標(biāo)的提升。不僅僅局限于集成電路的制造設(shè)備，太陽能電池制造設(shè)備、平板顯示設(shè)備、整機裝聯(lián)設(shè)備等設(shè)備功能和性能的提升也將符合這一發(fā)展趨勢。
電子儀器向?qū)掝l帶、大實時帶寬、大功率、高精度、高密度、高速方向發(fā)展;將廣泛采用新型元器件，與信息技術(shù)和計算機技術(shù)融為一體，向智能化、系統(tǒng)化、模塊化、網(wǎng)絡(luò)化、開放式、可重構(gòu)、微型化、抗惡劣環(huán)境、測量功能集成集約化方向邁進(jìn)。
(三)面臨的環(huán)境條件
“十二五”期間，隨著我國繼續(xù)加快發(fā)展戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)，加大對“極大規(guī)模集成電路裝備制造技術(shù)及成套工藝”、“新一代寬帶無線移動通信網(wǎng)”等重大科技專項的支持，新能源、新材料等新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展以及量大面廣的電子元器件的需求，將為電子專用設(shè)備儀器企業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展創(chuàng)造良好的發(fā)展機遇。
同時，產(chǎn)業(yè)也面臨著制造企業(yè)對于采購本地設(shè)備儀器的積極性不高，在采購本土設(shè)備時需要面對工藝與設(shè)備的融合，新工藝開發(fā)缺乏技術(shù)支持等一系列問題。
為本地開發(fā)的專用設(shè)備儀器提供良好的市場銷售環(huán)境和政策支持，進(jìn)一步降低國產(chǎn)設(shè)備儀器的使用成本，提升本土產(chǎn)品的配套率，提升本土產(chǎn)品的競爭優(yōu)勢，提振用戶對國產(chǎn)設(shè)備儀器信心，是“十二五”期間需重點關(guān)注和解決的問題。
三、發(fā)展思路和發(fā)展目標(biāo)
(一)發(fā)展思路
深入貫徹落實科學(xué)發(fā)展觀，充分發(fā)揮重大科技專項、戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的引領(lǐng)作用，推動形成以企業(yè)為主體、產(chǎn)學(xué)研用結(jié)合的技術(shù)創(chuàng)新體系;以市場亟需的、帶動性較顯著的電子專用設(shè)備、電子測量儀器為重點，集中力量重點突破，開發(fā)滿足國家重大戰(zhàn)略需求、具有市場競爭力的關(guān)鍵產(chǎn)品，批量進(jìn)入生產(chǎn)線，提升市場自給率;以承擔(dān)重大專項為契機，形成一批自主知識產(chǎn)權(quán)核心技術(shù)，扶植起一批電子專用設(shè)備儀器重點企業(yè)。
(二)發(fā)展目標(biāo)
1、經(jīng)濟(jì)指標(biāo)
“十二五”時期，我國電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)將實現(xiàn)17%的年均增長速度，其中骨干企業(yè)年均增長20%，到2015年實現(xiàn)銷售收入400億元;電子儀器產(chǎn)業(yè)年均增長速度達(dá)15%，到2015年實現(xiàn)銷售收入達(dá)到1800億元。
2、創(chuàng)新指標(biāo)
12英寸65納米集成電路制造裝備實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，研發(fā)成功45納米-32納米制造裝備整機產(chǎn)品并進(jìn)入生產(chǎn)線應(yīng)用。在若干技術(shù)領(lǐng)域形成具有特色的創(chuàng)新技術(shù)和創(chuàng)新產(chǎn)品，大幅提升創(chuàng)新實力和差異化競爭能力。研發(fā)出8-10種前道核心裝備、12-15種先進(jìn)封裝關(guān)鍵設(shè)備并形成批量生產(chǎn)能力。
縮小我國集成電路設(shè)備、工藝技術(shù)水平與當(dāng)時國際先進(jìn)水平的差距，除光刻機外基本縮小到1代甚至基本同步;晶硅太陽能電池設(shè)備達(dá)到國際先進(jìn)水平;表面貼裝設(shè)備除自動貼片機外達(dá)到國際先進(jìn)水平;集成電路后封裝設(shè)備、液晶顯示器件后工序設(shè)備、發(fā)光二極管(LED)設(shè)備(除金屬有機化學(xué)氣相沉積設(shè)備外)、片式元件設(shè)備、凈化設(shè)備、環(huán)境試驗設(shè)備接近國際先進(jìn)水平。
電子儀器總體技術(shù)水平達(dá)到2005年前后國際先進(jìn)水平，在新一代移動通信、數(shù)字電視、綠色環(huán)保等應(yīng)用領(lǐng)域的電子儀器基本達(dá)到與國際先進(jìn)水平同步。
四、主要任務(wù)和發(fā)展重點
(一)主要任務(wù)
1、圍繞戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，提升配套能力
加強為戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)配套的電子專用設(shè)備儀器的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，圍繞集成電路、太陽能光伏、中小尺寸平板顯示、下一代通信等重點領(lǐng)域所需電子專用設(shè)備儀器，大力推進(jìn)關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，加快產(chǎn)品推廣應(yīng)用進(jìn)程。
2、加強基礎(chǔ)能力建設(shè)，提升產(chǎn)業(yè)整體水平
針對關(guān)鍵設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)化水平低、可靠性差等問題，加強基礎(chǔ)工藝研究，提升重點設(shè)備和儀器質(zhì)量水平，積極發(fā)展電子專用設(shè)備制造的關(guān)聯(lián)產(chǎn)業(yè)和配套產(chǎn)業(yè)，加大技術(shù)改造投入，提高基礎(chǔ)零部件和配套產(chǎn)品的技術(shù)水平，不斷滿足電子信息制造業(yè)發(fā)展的需要。
3、以重大專項實施為契機，加強產(chǎn)業(yè)互動
引導(dǎo)承擔(dān)重大專項的企業(yè)在攻克技術(shù)難關(guān)的同時延展技術(shù)應(yīng)用，推動集成電路設(shè)備相關(guān)技術(shù)在半導(dǎo)體、顯示、光伏、元器件等領(lǐng)域的應(yīng)用，推動通信網(wǎng)絡(luò)測試設(shè)備在通用測試儀器中的應(yīng)用。針對新興市場需求，加強產(chǎn)業(yè)鏈上下游聯(lián)動，共同探索新工藝，聯(lián)合研發(fā)新型設(shè)備儀器。
(二)發(fā)展重點
1、集成電路生產(chǎn)設(shè)備
(1)8英寸0.13微米集成電路成套生產(chǎn)線設(shè)備產(chǎn)業(yè)化
在“十一五”攻關(guān)的基礎(chǔ)上，以設(shè)備生產(chǎn)能力的提升和產(chǎn)業(yè)化為重點。解決以光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備、離子注入設(shè)備、退火設(shè)備、單晶生長設(shè)備、薄膜生長設(shè)備、化學(xué)機械拋光設(shè)備和封裝測試設(shè)備為代表的8英寸0.13微米工藝的集成電路成套設(shè)備的自主研發(fā)，突破核心關(guān)鍵技術(shù)，在國內(nèi)建立成套生產(chǎn)線，提高半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的配套性和整體水平。
(2)12英寸65納米-45納米集成電路關(guān)鍵設(shè)備產(chǎn)業(yè)化
光刻機：基于國產(chǎn)核心部件完成90納米光刻機的產(chǎn)品定型，形成小批量生產(chǎn)能力，實現(xiàn)產(chǎn)品銷售。
刻蝕機：使國產(chǎn)65納米-45納米刻蝕機進(jìn)入主流生產(chǎn)線，實現(xiàn)刻蝕機的產(chǎn)業(yè)化;完成45納米以下柵刻蝕和介質(zhì)刻蝕產(chǎn)品研制，逐步完成關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，實現(xiàn)設(shè)備生產(chǎn)線驗證及商業(yè)設(shè)備定型設(shè)計。通過納米刻蝕機研制和工藝開發(fā)掌握高密度等離子刻蝕機制造的核心技術(shù)。
封測設(shè)備：開展先進(jìn)封裝圓片減薄設(shè)備、三維系統(tǒng)封裝通孔設(shè)備、高密度倒裝鍵合設(shè)備、新型晶片級封裝用設(shè)備等的研發(fā)。
其它設(shè)備：完成45納米薄膜設(shè)備、摻雜設(shè)備、互聯(lián)設(shè)備、平坦化設(shè)備、清洗設(shè)備、工藝檢測設(shè)備等整機產(chǎn)品的研發(fā)，在工程樣機設(shè)計及工藝開發(fā)的基礎(chǔ)上，結(jié)合可靠性、穩(wěn)定性等產(chǎn)業(yè)化指標(biāo)要求，改進(jìn)設(shè)計，制造中試樣機，通過大量工藝驗證與優(yōu)化試驗，確定商業(yè)機設(shè)計，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化銷售。
2、太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備
(1)太陽能級多晶硅及單晶硅生長、切割、清洗設(shè)備產(chǎn)業(yè)化
多晶硅生長設(shè)備：突破熱場分控技術(shù)、定向凝固技術(shù)，實現(xiàn)投料量噸級及以上產(chǎn)品硅鑄錠爐的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，并實現(xiàn)成品率達(dá)到75%以上。
單晶硅生長設(shè)備：突破單晶生長全自動控制技術(shù)，實現(xiàn)8英寸(156 毫米×156 毫米硅片)以上尺寸全自動單晶爐產(chǎn)業(yè)化。
切割設(shè)備：突破張力控制軟件技術(shù)、水冷卻氣密封技術(shù)、砂漿溫度閉環(huán)控制技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，保證能滿足太陽能硅片大生產(chǎn)切割需求，切割硅片尺寸8英寸，切割精度優(yōu)于10微米、厚度在180微米以下的太陽能硅片多線切割機產(chǎn)業(yè)化。
清洗設(shè)備：突破槽體溫度控制技術(shù)、溶液循環(huán)技術(shù)、大行程直線傳輸技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，提升產(chǎn)品質(zhì)量的一致性，實現(xiàn)碎片率小于0.3‰的太陽能晶硅清洗制絨設(shè)備產(chǎn)業(yè)化，促進(jìn)晶硅太陽能電池片轉(zhuǎn)化效率提升。
(2)全自動晶硅太陽能電池片生產(chǎn)線設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化
重點發(fā)展擴散爐、等離子增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PECVD)等關(guān)鍵設(shè)備，突破單機自動化及生產(chǎn)線設(shè)備之間物流傳輸自動化技術(shù)，實現(xiàn)整線自動化集成。
重點突破自動圖像對準(zhǔn)技術(shù)、柔性傳輸技術(shù)、高精度印刷技術(shù)、高速高精度對準(zhǔn)技術(shù)、測試分選技術(shù)、智能化控制及系統(tǒng)集成技術(shù)，進(jìn)一步提高電池片電極印刷、烘干、測試分選速度，實現(xiàn)產(chǎn)能達(dá)到1440片/小時以上、碎片率低于0.5%的全自動太陽能印刷線設(shè)備產(chǎn)業(yè)化。
(3)薄膜太陽能生產(chǎn)設(shè)備
硅基類薄膜太陽能電池設(shè)備：重點提高大面積沉積的均勻性，進(jìn)一步提升設(shè)備運行的穩(wěn)定性，適度提升自動化程度，提高生產(chǎn)效率。
碲化鎘(CdTe)薄膜太陽能電池設(shè)備：突破真空鍍膜設(shè)備技術(shù)難點，研發(fā)新型升華源的結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步提高溫度均勻性，開發(fā)在高溫、真空環(huán)境下的傳動系統(tǒng)。
銅銦鎵硒(CIGS)薄膜太陽能電池設(shè)備：突破真空鍍膜設(shè)備、材料濺射、硒化技術(shù)等技術(shù)難點，實現(xiàn)元素配比的精確控制，保證大面積沉積的均勻性，提高生產(chǎn)效率，降低制造成本。實現(xiàn)0.7平方米以上、電池轉(zhuǎn)化效率達(dá)14%以上的CIGS整線設(shè)備集成。
3、新型元器件生產(chǎn)設(shè)備
(1)中小尺寸有機發(fā)光顯示(OLED)生產(chǎn)設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化
解決無源有機發(fā)光顯示(PM-OLED)用有機蒸鍍和封裝等關(guān)鍵設(shè)備大面積化和低成本化等問題，重點發(fā)展蒸發(fā)源、掩模對位、玻璃和掩模板固定裝置等設(shè)備，進(jìn)一步提高生產(chǎn)效率。
開展中小尺寸有源有機發(fā)光顯示(AM-OLED)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和制造設(shè)備研發(fā)，突破濺鍍臺、PECVD系統(tǒng)、熱蒸發(fā)系統(tǒng)等AM-OLED用的薄膜晶體管(TFT)薄膜沉積裝備;涂膠機、曝光機、干濕法刻蝕機等AM-OLED用的TFT圖形制作裝備;退火爐、退火氣體管道、激光退火設(shè)備等AM-OLED用TFT退火裝備;TFT電學(xué)測試設(shè)備、OLED光學(xué)測試設(shè)備等AM-OLED用檢測裝備;AM-OLED用缺陷檢測修補裝備，如激光修補機等。
(2)高儲能鋰離子電池生產(chǎn)設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化
突破電池漿料精密攪拌技術(shù)、電極極片精密涂敷技術(shù)、極片精密軋膜技術(shù)及快速極片分切技術(shù)，實現(xiàn)400升(裝量)漿料攪拌設(shè)備、650毫米(幅寬)擠出式涂布設(shè)備、Φ800(軋輥直徑800毫米)強力軋膜設(shè)備、極片分切設(shè)備(分切速度30-35米/分鐘)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化，實現(xiàn)整線設(shè)備集成。
(3)其他元器件生產(chǎn)設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化
重點發(fā)展高性能永磁元件生產(chǎn)設(shè)備、高亮度LED生產(chǎn)設(shè)備、金屬化超薄膜電力電容器生產(chǎn)設(shè)備、超小型片式元件生產(chǎn)設(shè)備、高密度印制電路板生產(chǎn)設(shè)備、高精密自動印刷機高速、多功能自動貼片機無鉛再流焊機、高精度光學(xué)檢測設(shè)備。
4、通信與網(wǎng)絡(luò)測試儀器
滿足時分雙工長期演進(jìn)技術(shù)(TD-LTE)網(wǎng)絡(luò)測試的多模終端樣機的研發(fā)，開發(fā)TD-LTE路測分析儀并達(dá)到商用化要求，配合TD-LTE技術(shù)網(wǎng)絡(luò)試驗和規(guī)模商用。
針對TD-LTE基站和終端特點及相關(guān)新技術(shù)和實際測試需求，開發(fā)模塊化的TD-LTE基站和終端射頻測試系統(tǒng)，推動基站和終端性能進(jìn)一步提高。
針對長期演進(jìn)技術(shù)(LTE)網(wǎng)絡(luò)接口進(jìn)行協(xié)議一致性測試的需求，研究更方便、更簡潔的測試工具對LTE的核心網(wǎng)絡(luò)設(shè)備和無線網(wǎng)絡(luò)設(shè)備進(jìn)行測試，推動設(shè)備接口實現(xiàn)一致性。
針對TD-LTE終端一致性測試開發(fā)擴展測試集儀器;針對TD-LTE-Advanced終端一致性測試開發(fā)終端協(xié)議仿真測試儀。
其他通信方式以及網(wǎng)絡(luò)測試所需的新一代通信測試儀器、計算機網(wǎng)絡(luò)測試儀器、射頻識別綜合測試儀器、各類讀卡器、近距離無線通信綜合測試儀器。
5、半導(dǎo)體和集成電路測試儀器
滿足對多種功能半導(dǎo)體和集成電路進(jìn)行測試需求的射頻與高速數(shù)；旌闲盘柤呻娐窚y試系統(tǒng);存儲器等專項測試系統(tǒng);半導(dǎo)體和集成電路在線測試系統(tǒng)、測試開發(fā)系統(tǒng)。
6、數(shù)字電視測試儀器
滿足數(shù)字電視和數(shù)字音視頻測試需求的數(shù)字電視信號源、數(shù)字音視頻測試儀、碼流監(jiān)測分析儀、圖像質(zhì)量分析儀、數(shù)字電視上網(wǎng)融合分析儀、網(wǎng)絡(luò)質(zhì)量和安全監(jiān)測儀、數(shù)字電視地面信號覆蓋監(jiān)測系統(tǒng)。
五、政策措施
(一)加強戰(zhàn)略引導(dǎo)，完善產(chǎn)業(yè)政策
充分利用優(yōu)惠政策，降低企業(yè)在技術(shù)進(jìn)步中的風(fēng)險，合理地運用優(yōu)惠政策促進(jìn)科研成果產(chǎn)業(yè)化。制定并完善《重大技術(shù)裝備和產(chǎn)品進(jìn)口關(guān)鍵零部件、原材料商品清單》，進(jìn)一步加強對電子專用設(shè)備關(guān)鍵零部件稅收優(yōu)惠政策的支持力度。
加快出臺《關(guān)于印發(fā)<進(jìn)一步鼓勵軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展若干政策>的通知》(國發(fā)[2011]4號)的實施細(xì)則，對符合條件的集成電路專用儀器以及集成電路專用設(shè)備相關(guān)企業(yè)給予企業(yè)所得稅優(yōu)惠，支持行業(yè)發(fā)展。
(二)加大投入力度，支持技術(shù)創(chuàng)新
充分發(fā)揮國家科技重大專項、電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金等引導(dǎo)作用，以多種形式支持電子專用設(shè)備儀器行業(yè)技術(shù)創(chuàng)新，重點支持戰(zhàn)略意義大、技術(shù)難度高、市場前景廣、帶動作用強、發(fā)展基礎(chǔ)好的關(guān)鍵電子專用設(shè)備儀器發(fā)展。
推動落實《首臺(套)重大技術(shù)裝備試驗示范項目管理辦法》，鼓勵支持集成電路關(guān)鍵設(shè)備、新型平板顯示器生產(chǎn)設(shè)備、電子元器件生產(chǎn)設(shè)備、無鉛工藝的整機裝聯(lián)設(shè)備自主創(chuàng)新，為首臺(套)重大電子專用設(shè)備應(yīng)用創(chuàng)造良好條件。
(三)提升產(chǎn)品可靠性，加強服務(wù)能力建設(shè)
抓好零部件配套和維修服務(wù)工作，推行平均失效間隔(MTBF)、平均恢復(fù)時間(MTTR)等可靠性指標(biāo)，采用可靠性設(shè)計、元器件篩選等行之有效的辦法，提高零部件產(chǎn)品可靠性，拓展維修、備件供應(yīng)等服務(wù)范圍，提高專用設(shè)備儀器的服務(wù)水平。
(四)引導(dǎo)專項成果輻射，推動技術(shù)應(yīng)用擴展
在支持企業(yè)承擔(dān)重大專項的企業(yè)攻克技術(shù)難關(guān)、強化核心競爭力的同時，積極引導(dǎo)將掌握的技術(shù)向相關(guān)領(lǐng)域進(jìn)行應(yīng)用擴展，重點推動半導(dǎo)體專用設(shè)備技術(shù)和產(chǎn)品在太陽能電池、LED、平板顯示等領(lǐng)域的應(yīng)用。
(五)重視人才戰(zhàn)略，集聚高端人才
推動在高等院校和科研院所加強電子專用設(shè)備儀器相關(guān)學(xué)科建設(shè)與專業(yè)技術(shù)人才的培養(yǎng)，建設(shè)高校、企業(yè)聯(lián)動的人才培養(yǎng)機制。以國家科技重大專項為平臺，加快人才引進(jìn)，進(jìn)一步提升高端復(fù)合型人才的積累。
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